潔凈室測(cè)量

時(shí)間：2019-12-30 15:07:40 來源：日本加野點(diǎn)擊：1024次

為證明潔凈車間工作得令人滿意,必須證明其滿足了下述準(zhǔn)則的要求：
1.潔凈車間的送風(fēng)量充足，足以稀釋或消除室內(nèi)產(chǎn)生的污染。
2.潔凈車間的送風(fēng)不會(huì)顯著增加室內(nèi)的污染。
3.潔凈車間內(nèi)的空氣是從潔凈區(qū)向潔凈程度差的區(qū)域流動(dòng)，受污染空氣的流動(dòng)達(dá)到zuidi程度，空氣在門口處和室內(nèi)建筑中的流動(dòng)方向正確。
4.室內(nèi)空氣的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)可保證密室內(nèi)沒有高濃度聚集區(qū)域。
如果潔凈車間達(dá)到了上述這些準(zhǔn)則的要求，就可以測(cè)量其粒子濃度或微生物濃度(必要時(shí))，以確定其達(dá)到了規(guī)定的潔凈車間標(biāo)準(zhǔn)。

潔凈車間的測(cè)試：

1.送風(fēng)量與排風(fēng)量：如果是紊流潔凈車間，那么就要測(cè)量其送風(fēng)量與排風(fēng)量。若為單向流潔凈車間，則要測(cè)量其風(fēng)速。
2.各區(qū)之間的氣流控制：為證明各區(qū)之間氣流運(yùn)動(dòng)方向正確，也就是從潔凈區(qū)向潔凈度差的區(qū)域流動(dòng)，必須檢測(cè)：
(1)各區(qū)間的壓差正確;
(2)門口處或墻、地板等處的開口處氣流運(yùn)動(dòng)方向正確，即從潔凈區(qū)向潔凈程度差的區(qū)域流。
3.過濾器檢漏：對(duì)高效過濾器及其外框要進(jìn)行檢驗(yàn)，以保證懸浮污染物不會(huì)穿過
(1)損壞了的過濾器;
(2)過濾器與其外框間的縫隙;
(3)過濾器裝置的其他部位而侵入室內(nèi)。
4.隔離檢漏：這項(xiàng)測(cè)試是為了證明懸浮污染物不穿過建筑材料侵入潔凈車間。
5.懸浮粒子濃度和微生物濃度：如果上述這些測(cè)試滿足要求，則zui后對(duì)粒子濃度和微生物濃度(需要時(shí))進(jìn)行測(cè)量，以便驗(yàn)明其符合潔凈車間設(shè)計(jì)的技術(shù)條件。
6.室內(nèi)氣流控制：氣流控制測(cè)試的類型要依潔凈車間的氣流模式——是紊流還是單向流而定。若潔凈車間氣流為紊流，則必須驗(yàn)明室內(nèi)沒有氣流運(yùn)行不足的區(qū)域。若是單向流潔凈車間，則必須驗(yàn)明整個(gè)室內(nèi)的風(fēng)速和風(fēng)向是符合設(shè)計(jì)要求的。
7.其他測(cè)試：除了上述這些污染控制方面的測(cè)試以外,有時(shí)還須進(jìn)行下述一項(xiàng)或若干項(xiàng)測(cè)試：
● 溫度 ● 相對(duì)濕度 ●室內(nèi)加熱與冷卻容量 ● 噪聲值 ● 光照度 ● 振動(dòng)值

隨著計(jì)算機(jī)、微電子和信息技術(shù)的發(fā)展，推動(dòng)電子制造業(yè)飛速發(fā)展的同時(shí)，也帶動(dòng)了潔凈室技術(shù)的發(fā)展，同時(shí)對(duì)潔凈室的設(shè)計(jì)提出了更高的要求。電子制造業(yè)潔凈廠房的設(shè)計(jì)是一項(xiàng)綜合的技術(shù)，只有充分了解電子制造業(yè)潔凈廠房的設(shè)計(jì)特點(diǎn)，做到設(shè)計(jì)合理，才能讓電子制造產(chǎn)業(yè)的產(chǎn)品次品率降低，提高生產(chǎn)效率。

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電子制造業(yè)廠萬級(jí)潔凈室廠房特點(diǎn) :

潔凈度等級(jí)要求高 , 風(fēng)量、溫度、濕度、壓差、設(shè)備排風(fēng)按需受控 , 照度、潔凈室截面風(fēng)速按設(shè)計(jì)或規(guī)范受控，另外該類潔凈室對(duì)靜電要求極其嚴(yán)格。其中對(duì)濕度的要求尤甚。因?yàn)檫^于干燥的廠房?jī)?nèi)極易產(chǎn)生靜電，造成 CMOS 集成損壞。一般來說，電子廠房的溫度應(yīng)控制在 22 ℃ 左右，相對(duì)濕度控制在 50-60% 之間 ( 特殊潔凈車間有相關(guān)溫濕度規(guī)定 ) 。這時(shí)可有效地消除靜電，并使人也感覺舒適。芯片生產(chǎn)車間、集成電路無塵室和磁盤制造車間是屬于電子制造行業(yè)潔凈室的重要組成部分，由于電子產(chǎn)品在制造、生產(chǎn)過程中對(duì)室內(nèi)空氣環(huán)境和品質(zhì)的要求極為嚴(yán)格，主要以控制微粒和浮塵為主要對(duì)象，同時(shí)還對(duì)其環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴(yán)格的規(guī)定。
● 電子制造廠萬級(jí)無塵車間內(nèi)的噪聲級(jí)（空態(tài)）：不應(yīng)大于 65dB(A)
● 電子制造廠無塵車間垂直流無塵車間滿布比不應(yīng)小于 60% ，水平單向流無塵車間不應(yīng)小于 40% ，否則就是局部單向流了。
● 電子制造廠無塵車間與室外的靜壓差不應(yīng)小于 10Pa ，不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應(yīng)小于 5Pa
● 電子制造行業(yè)萬級(jí)無塵車間內(nèi)的新鮮空氣量應(yīng)取下列二項(xiàng)中的大值：
● 補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量之和。
● 保證供給無塵車間內(nèi)每人每小時(shí)的新鮮空氣量不小于 40m3 。

電子制造行業(yè)無塵車間凈化空調(diào)系統(tǒng)加熱器，應(yīng)設(shè)置新風(fēng)，超溫?cái)嚯姳Ｗo(hù)，若采用點(diǎn)加濕時(shí)應(yīng)設(shè)置無水保護(hù)，寒冷地區(qū)，新風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置防凍保護(hù)措施。無塵室的送風(fēng)量，應(yīng)取下面三項(xiàng)大值：
● 保證電子制造廠無塵室空氣潔凈度等級(jí)的送風(fēng)量：
● 根據(jù)熱，濕負(fù)荷計(jì)算確定電子廠無塵車間的送風(fēng)量：
● 向電子制造廠無塵車間內(nèi)供給的新鮮空氣量：

電子無塵車間凈化原理：
氣流 → 初效空氣過濾器凈化 → 空調(diào) → 中效空氣過濾器凈化 → 風(fēng)機(jī)送風(fēng) → 管道 → 高效空氣過濾器凈化風(fēng)口 → 吹入房間 → 帶走塵埃細(xì)菌等顆粒 → 回風(fēng)百葉窗 → 初效空氣過濾器凈化重復(fù)以上過程，即可達(dá)到凈化目的。

電子無塵車間參數(shù)：
● 換氣次數(shù)： 100000 級(jí) ≥15 次； 10000 級(jí) ≥20 次； 1000≥30 次。壓差：主車間對(duì)相鄰房間 ≥5Pa
● 平均風(fēng)速： 10 級(jí)、 100 級(jí) 0.3 － 0.5m/s ；溫度冬季＞ 16 ℃ ；夏季 <26 ℃ ；波動(dòng) ±2 ℃ 。
● 溫度 45 － 65 ％；高標(biāo)準(zhǔn)粉劑車間濕度在 50 ％左右為宜；電子車間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。
● 噪聲 ≤65dB （ A ）；新風(fēng)補(bǔ)充量是總送風(fēng)量的 10 ％－ 30 ％；照度 300LX 。

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